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离子减薄系统

Ion Thinning System

 
 

型号:GL 2012

厂家:北京钢新冶金技术研究所

启用时间:2017.8

放置地点:新能源大楼201

联系人及电话:王小曼  020-37272535-2021

 

主要配置与技术指标:

1. 电脑控制,具备离子减薄和离子抛光两种功能,薄轴承样品台,分子泵真空系统;

2. 双离子枪,分别独立调节;

3. 可自动识别样品穿孔并停止减薄过程、自动停机;

4. 离子流自动控制系统,具备手动和自动两种操作方式;

5. 离子束加速电压:连续可调,0~10kV;

6. 不送气时真空度,优于10-3Pa;

7. 离子束对样品的最小倾角:7°(普通试样台),2°(抛光试样台)。

 

主要功能:

       在电场作用下,被电离的高能惰性气体(Ar)离子束从阳极飞向阴极,通过阴极孔,轰击试样表面,使表面原子飞出。经聚焦的离子束对低速旋转的样品两面进行离子束刻蚀。

 

应用范围:

       电子显微镜样品前期制备,对样品进行减薄或抛光。