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冷场发射扫描电子显微镜

Cold Field Emission Scanning Electron Microscope

 
 

型号:S-4800;离子溅射仪 EX-250;厂商:日本 Hitachi。能谱仪 E-1010,厂商:英国牛津。

启用时间:2010.10

放置地点:新能源大楼1楼

联系人及电话:莫家媚、张少鸿  020- 87057706

 

主要功能:

       利用电子束作用于样品表面对各种固体样品表面形貌进行观察,拍摄微米、纳米分辨率的高景深形貌衬度或成分衬度电子图像,微米级表面元素线分布或面方面图像,微区点、线、面的元素含量;进行微米、纳米长度测量。二次电子形貌(SEI):对试样进行表面形貌观察分析;背反射成分像/形貌像(BEI):对试样进行更深一层的形貌观察,并得到原子序数衬度;元素的定性定量分析(EDX):结合X射线能谱仪对试样表面某区域或某点进行成分定性和定量分析;图像分析处理系统(IPS):根据所得图像,对试样进行粒度、孔径大小、气孔分布等进行分析。

 

主要配置及技术指标:

1. 分辨率:1.0nm (15kV),2.0nm (1kV);

2. 加速电压:0.5 ~ 30kV;

3. 放大倍率:×20 ~ ×800,000;

4. 3轴马达驱动样品台:移动范围:X:0~50mm;Y:0~50mm;Z:1.5~30mm;T:-5~+70°;R:360°。最大样品尺寸:100mm。

5. 能谱仪:元素分析范围:Be4~U92号元素,能量分辨率133eV;峰背比:20,000:1;有效面积30mm2;X射线扫描模式:点分析模式、线分析模式、区域分析模式。

 

应用范围:

       广泛适用于固体、粉末和薄膜样品的表面形貌观察、薄膜断面形貌观察和厚度测量,样品微区元素分析。