| 型号：S-4800；离子溅射仪 EX-250；厂商：日本 Hitachi。能谱仪 E-1010，厂商：英国牛津。 启用时间：2010.10 放置地点：新能源大楼1楼 联系人及电话：莫家媚、张少鸿 020- 87057706 主要功能： 利用电子束作用于样品表面对各种固体样品表面形貌进行观察，拍摄微米、纳米分辨率的高景深形貌衬度或成分衬度电子图像，微米级表面元素线分布或面方面图像，微区点、线、面的元素含量；进行微米、纳米长度测量。二次电子形貌（SEI）：对试样进行表面形貌观察分析；背反射成分像/形貌像（BEI）：对试样进行更深一层的形貌观察，并得到原子序数衬度；元素的定性定量分析（EDX）：结合X射线能谱仪对试样表面某区域或某点进行成分定性和定量分析；图像分析处理系统（IPS）：根据所得图像，对试样进行粒度、孔径大小、气孔分布等进行分析。 主要配置及技术指标： 1. 分辨率：1.0nm (15kV)，2.0nm (1kV)； 2. 加速电压：0.5 ~ 30kV； 3. 放大倍率：×20 ~ ×800,000； 4. 3轴马达驱动样品台：移动范围：X：0~50mm；Y：0~50mm；Z：1.5~30mm；T：-5~+70°；R：360°。最大样品尺寸：100mm。 5. 能谱仪：元素分析范围：Be4～U92号元素，能量分辨率133eV；峰背比：20,000：1；有效面积30mm2；X射线扫描模式：点分析模式、线分析模式、区域分析模式。 应用范围： 广泛适用于固体、粉末和薄膜样品的表面形貌观察、薄膜断面形貌观察和厚度测量，样品微区元素分析。 | 
