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肖特基场发射分析型扫描电镜

Schottky Emission Analytical Scanning Electron Microscope


 

型号:SU-70

厂商:日本 Hitachi

启用时间:2016.8

放置地点:新能源大楼1楼

联系人及电话:莫家媚、张少鸿  020- 87057706

 

主要功能:

       全自动织构定量分析和模拟软件能够在一个软件平台上同步采集背散射电子衍射(EBSD)和能谱(EDS)数据,进行化学预过滤的指标化和相鉴定。

 

主要配置及技术指标:

1. 分辨率:1.0nm (15kV),2.5nm (1kV);

2. 加速电压:0.5 ~ 30kV;

3. 放大倍率:×20 ~ ×800,000;

4. 5轴马达驱动样品台:移动范围:X:0~110mm;Y:0~110mm;Z:1.5~40mm;T:-5~+70°;R:360°。最大样品尺寸:150mm;

5. 能谱仪:元素分析范围:Be4~Cf98号元素,能量分辨率MnKa优于127eV;峰背比20,000:1;有效面积50 mm2,X射线扫描模式:点分析模式、线分析模式、区域分析模式;

6. 背散射电子衍射分析仪:高解析率(640×480像素)数字相机,在识别率优于99%条件下每秒采集并解析870点以上;束流弱于2nA可以高速采集;加速电压5kV,束流小于100pA时可采集到花样。

 

应用范围:

       广泛适用于固体、粉末和薄膜样品的表面形貌观察、薄膜断面形貌观察和厚度测量,样品微区元素分析,微观组织的可视化和定量化(晶粒尺寸、分布,晶界表征,应变表征等),物相鉴别(相分布,尺寸,晶体结构)和织构分析,应用范围如:生物质材料、催化剂、太阳能材料、有机能源材料、环境能源材料、固体废弃物等各种新能源材料、纳米材料、薄膜和环保样品等分析领域。