离子减薄系统

Ion Thinning System    

型号：GL 2012

厂家：北京钢新冶金技术研究所

启用时间：2017.8

放置地点：新能源大楼201

联系人及电话：王小曼  020-37272535-2021

主要配置与技术指标：

1. 电脑控制，具备离子减薄和离子抛光两种功能，薄轴承样品台，分子泵真空系统；

2. 双离子枪，分别独立调节；

3. 可自动识别样品穿孔并停止减薄过程、自动停机；

4. 离子流自动控制系统，具备手动和自动两种操作方式；

5. 离子束加速电压：连续可调，0~10kV；

6. 不送气时真空度，优于10-3Pa；

7. 离子束对样品的最小倾角：7°（普通试样台），2°（抛光试样台）。

主要功能：

       在电场作用下，被电离的高能惰性气体（Ar）离子束从阳极飞向阴极，通过阴极孔，轰击试样表面，使表面原子飞出。经聚焦的离子束对低速旋转的样品两面进行离子束刻蚀。

应用范围：

       电子显微镜样品前期制备，对样品进行减薄或抛光。